ELO SERWIS

Strona producenta
www.smt.zeiss.com

SIGMA FE SEM
Skanigowy mikroskop elektronowy kolumą GEMINI i katodą Schottky

SIGMA
SIGMA VP

Rodzielczość
1,3 nm @ 20 kV
1,5 nm @ 15 kV
2,8 nm @ 1 kV
2,5 nm @ 30kV w modzie VP

Napięcie przyśpieszające
0,1-30kV

Prąd próby
4pA-40nA

Powiekszenie
12x-1.000.000x

Komora prób.
Wymiary wewnętrzne 365mm (średnica) x 275mm (wysokość)

Stolik zmotoryzowany w 5 osiach.
przesuw w ośi X = 125 mm
przesuw w ośi Y = 125mm
przesuw w ośi Z = 50mm zmotoryzowany
pochylenie od 0-90 stopni
rotacja ciągła 360 stopni

Dostepne detektory
In-Lens SE, QBSD, SE2, VPSE, AsB, STEM, SCD

MERLIN FE SEM

The MERLIN™ FE-SEM overcomes the conflict between image resolution and analytical capability. The core of MERLIN™ is the enhanced GEMINI II column which, with its double condenser system, achieves an image resolution of 0.8 nanometers. A sample current of up to 300 nanoamperes is available for analytical purposes such as energy and wavelength dispersive X-ray spectroscopy (EDS and WDS), diffraction analysis of backscattered electrons (EBSD) or the generation of cathodoluminescence