ELO SERWIS


Idź do treści

FE SEM

Carl Zeiss > Mikroskopy Skaningowe

Strona producenta
www.smt.zeiss.com/nts

SIGMA FE SEM
Skanigowy mikroskop elektronowy kolumą GEMINI i katodą Schottky

SIGMA
SIGMA VP

Rodzielczość

1,3 nm @ 20 kV
1,5 nm @ 15 kV
2,8 nm @ 1 kV
2,5 nm @ 30kV w modzie VP

Napięcie przyśpieszające
0,1-30kV

Prąd próby

4pA-40nA

Powiekszenie
12x-1.000.000x

Komora prób.
Wymiary wewnętrzne 365mm (średnica) x 275mm (wysokość)

Stolik zmotoryzowany w 5 osiach.
przesuw w ośi X = 125 mm
przesuw w ośi Y = 125mm
przesuw w ośi Z = 50mm zmotoryzowany
pochylenie od 0-90 stopni
rotacja ciągła 360 stopni

Dostepne detektory
In-Lens SE, QBSD, SE2, VPSE, AsB, STEM, SCD




SUPRA FE SEM

Mikroskopy skaningowe z ciepłą emisją polową
Serii SUPRA™ bazujące na unikalnej kolumnie trzeciej generacji GEMINI®
Są to mikroskopy niskonapięciowe, oferujące ultra wysoką rozdzielczość i pokrywające szeroki zakres aplikacji w nano technologii, cryo, nano strukturalnej analizie materiałów oraz w badaniach półprzewodników
Wysoka rozdzielczość nawet przy napięciach 0,1kV, wysoce efektywny, unikalny detektor In-Lens, możliwość podłączenia detektorów EDX, WDX, EBSD, CL, STEM czyni ten mikroskop unikalnym w swojej klasie.
Model z niską próżnią daje możliwość analizy materiałów nieprzewodzących bez konieczności ich napylania


ULTRA FE SEM

Mikroskopy serii ULTRA bazują na mikroskopach SUPRA™ FESEM i zawierają oprócz umieszczonego w kolumnie i będącego częścią optyki elektronowej detektora In-Lens rownież nastepujące , unikalne detektory pozawlajace na uzyskanie pełnej informacji o analizowanej próbie

Detektor EsB
(Energy selected BSD detektor) jest dodatkowym detektorem InLens w kolumnie , który analizuje elektrony wstecznie rozproszone o niskiej energii (BSD) wchodzące do kolumny. Duża czułość detektora (0-1,5kV) pozwala na wykazanie różnice w kontraście materiałowym próby, niewidoczne przy detektorach w innych systemach.
Dedektor ten pozwala na rozróżnienie kontrastu do 0,001Z


Detektor AsB (Angle selected BSD Detektor) jest umieszczony tuz pod soczewka końcową mikroskopu i analizuje elektrony BSD wychodzące z próby pod określonym kątem. Detektorem tym możemy analizować stresy materiałowe oraz dyslokacje występujące w procesie produkcji materiału.

Charge Compensator- System posiada unikalna metodę analizy materiałów nieprzewodzących. Polega ona na uzyskaniu lokalnej niskiej próżni tuż nad analizowanym obszarem próby i neutralizacji naładowań. W systemie tym nie następuje pogorszenie warunków próżni w całej komorze lecz w jej niewielkim obszarze, tuż nad próbą. Zaletą tej metody jest jest również to, że możemy przy analizie materiałów nieprzewodzących używać wszystkich dostępnych detektorów co jest niemożliwe przy niskiej próżni w całej komorze.



MERLIN FE SEM

The MERLIN™ FE-SEM overcomes the conflict between image resolution and analytical capability. The core of MERLIN™ is the enhanced GEMINI II column which, with its double condenser system, achieves an image resolution of 0.8 nanometers. A sample current of up to 300 nanoamperes is available for analytical purposes such as energy and wavelength dispersive X-ray spectroscopy (EDS and WDS), diffraction analysis of backscattered electrons (EBSD) or the generation of cathodoluminescence


Powrót do treści | Wróć do menu głównego