CrossBeam
Carl Zeiss > Mikroskopy Skaningowe
CrossBeam AURIGA
CrossBeam Workstation AURIGA jest kombinacja mikroskopu z emisja polowa z technologią GEMINI oraz działa jonowego FIB
- modułowa konfiguracja systemu
- wysokoprecyzyny stolik zmotoryzowany w 6 osiach
- charge compensator umożliwiający badanie prób nieprzewodzących
- Canion FIB Column ( rozdzielczosc 7nm)
- Cobra FIB Column (rozdzielczośc 2,5nm)
- System Multi GIS z Charge Compensatorem (4 prekursory + CC)
- System Multi GIS z pięcioma prekursorami
- System Single GIS z jednym prekursorem